feol
- 网络前段制程(Front end of the line)；前道；前段工艺过程
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前段制程(Front end of the line)
前段制程(FEOL) 最常见的EBI点是接点 (contact),无论是蚀刻还是W CMP。由浅结工艺发展所推动,对钴化物 (CoSi2) 或镍化物 (…
前道
在前道（FEOL）会影响晶体管电性能，如关闭电流IOFF，漏极饱和电流Idsat阈值电压Vt，功耗，甚至使晶体管失效。在后道（…
前段工艺过程
在执行晶圆的前段工艺过程(FEOL)和后段工艺过程(BEOL)时,晶圆需要经过无数次的清洗步骤,清洗的次数取决于晶圆的设计和 …
前道工艺
例如：一个应用于前道工艺（FEOL）的测量程序，通常能够以埃量级的精度检测硅片内以及不同芯片间多个STI结构残余的二 …
前道互连
在前一种情况下，前道互连(FEOL)型TSV是在IC布线工艺开始之前制作的，而后道互连(BEOL)型TSV则是在金属布线工艺过程 …
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Critical FEOL Metrology for Dimension Control in Advanced Semiconductor Manufacturing.
先进半导体制造前道工序中进行尺寸控制所需的关键量测技术。
2
The fabrication process includes etching of a deep cavity in the substrate after all the FEOL steps are completed;
制造过程包含在所有前段处理（FEOL）步骤完成后在基板上蚀刻深凹洞；
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Wafer Backside Metallic Decontamination Control for FEOL Processing
FEOL工艺中防止晶背金属污染的控制
4
FEOL wet processes for advanced design rules
先进设计规则下FEOL湿法处理工艺