mtorr
- 网络真空度；系统压力；极限真空
mtorrmtorr
真空度
... 100 N 2 气百分比（%） 100 0 0 真空度（mTorr） 110 110 110 射频功率（Kw） 1.5 2.5 2.5 处理时间（min） 10 35 5 表（…
系统压力
...85~90 100 CF4% 0 10~15 0 系统压力（mTorr） 250 250 250 功率（KW） 3.5 3.5 3.5 温度（℃） ~40 40~110 40~110时间…
极限真空
极限真空(mTorr) >> 泄漏率(mTorr/h) >> 晶体行程(mm) >> 晶体慢速(mm/min) >> 晶体快速(mm/min) >> 晶体旋转(rpm) >> 坩 …
毫托
最常见的电浆是在真空容器内通入数十至数 百毫托 (mTorr) 的气体， 加上高电压产生的放电， 例如： 霓红灯及日光灯管内气 …