salicide
- 网络硅化金属；对准硅化物；自对准多晶硅化物
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硅化金属
CMOS工艺名词解_何振明吧_百度贴吧 ... RTP:rapid thermal process 迅速热处理 SA:salicide 硅化金属 E/R:etch rate 蚀刻速率 ...
对准硅化物
自对准硅化物（Salicide）工艺已经成为近期的超高速CMOS逻辑大规模集成电路的关键制造工艺之一。它给高性能逻辑器件的 …
自对准多晶硅化物
电器电子专业英语词汇 ... sag 自对准栅 salicide 自对准多晶硅化物 sample 取样 ...
对准金属矽化物
然而在自我对准金属矽化物（Salicide）制程中，由於加上金属矽化物的 N 型扩散区域的片电阻值很低，导致汲极区域的镇流电 …
对准矽化金属
...T, All rights reserved 自我对准矽化金属(Salicide) 之 形成 2.钛沈积 矽基板 1.矽主动区 场氧化层 间隙壁氧化层 多晶矽 矽主动...
对准矽化物
例如，镍铂 (NiPt) 自对准矽化物 (salicide) 制程已经延伸至 22 奈米元件。然而，尺寸愈小，生产量对制程的变化就更加敏感， …
对准金属硅化物
...MOSFET 大约1989年, 器件主要特点为全自对准金属硅化物(Salicide)栅, 源及漏极, 减小了接触电阻, 并且采用侧墙(Spacer) …