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  • 网络区熔再结晶(zone melting recrystallization);区熔再结晶技术;区熔再结晶法

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区熔再结晶(zone melting recrystallization)

研究了区熔再结晶(ZMR)设备及其工艺特点.在覆盖SiO2的重掺P型单晶硅衬底上用快速热化学气相沉积(RTCVD)在其上沉积一 …

区熔再结晶技术

区熔再结晶技术ZMR) ZMR 的工艺过程为: (1)在单晶硅上生长SiO2、Si3N4 等绝缘层(介质); (2)采用低压化学汽 …

区熔再结晶法

到目前为止,再结晶技术主要有:固相晶 化法 ( SPC) 、区熔再结晶法 ( ZMR ) 和金属诱导结晶法 (MIC) 。 4. 2. 1 固相晶化法 ( SP…

区熔在结晶

...,晶粒尺寸为0.01um ~0.1um,将该层进行区熔在结晶(ZMR)形成多晶硅 层。

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Quality Improvement of SSP as the Substrate of Polycrystalline Silicon Thin Film Via ZMR Technique 用区熔技术改善多晶硅薄膜颗粒硅带衬底的质量