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- 网络晶圆装卸机；装载设备；晶圆载入机
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晶圆装卸机
乐华科技公司 ... 晶圆校准机( Aligner) 晶圆装卸机( Loadport) 晶圆筛选机( Wafer Sorter) ...
装载设备
晶片装载设备（LoadPort）。6、十一五‘863’重点项目“造纸行业包装搬运机器人系统的开发和应用”项目该项目结合造纸行业的 …
晶圆载入机
...Robot)、机台平台(Platform)、12寸晶圆载入机(Loadport)、对准线和定标(Alignment & calibration)，其高稳定度的特性可有效 …
晶圆装载埠
...系统(AMHS)、名为IsoPort"的先进12寸晶圆装载埠(loadport)，以及名为AdvanTag" - Asyst 的射频识别系统，AdvanTag"将作 …
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Functioning as a loadport the system can accept a reticle dual pod directly from the scanner for transfer to the mask cleaning tool.
InSync系统则可直接从掩膜板用容器内接受掩膜板，并直接将其传送到掩膜清洗工具上去。