白光干涉

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白光干涉仪可以测斜面的粗糙度吗

请问你说的斜面的范围是多大?如果是精密工件的斜面粗糙度,用白光干涉仪测量是没有问题的。因为白光干涉仪本身是用来测量精密工件的重点部位粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸,其测量精度可以达到纳米级。