电火花检漏仪常用来检测玻璃真空系统的漏隙，也可以用来判断里面的真空度。它的大致原理是电火花检漏仪的输出头打出的火花使玻璃真空系统里的气体因感应而电离，不同真空度下发光的颜色是不同的，如果某一部位颜色有突变，这里很可能是有漏隙。它只适用于玻璃系统。先将系统抽成真空，用火花尖端延玻璃表面移动，没有漏孔时，火花束在玻璃表面呈不规则的跳跃，并向四周发散，当遇到漏孔后，由于漏孔中的气体稀薄比玻璃易导电，所以火花便集成一束，穿过漏孔进入真空系统中，形成一个亮点，这样可以判断漏孔纯在的位置使用很简单，一头接地，另一头是探头，（探头形式很多有碳刷型，圆圈弹簧型，平板橡胶型。。。。），仪器通过高压探头发出直流高压电，当探头经过有缺陷的涂层表面时，仪器会自动声光报警。现行的电火花检漏仪大多分为15Kv 和30Kv两种，用来测量不同厚度的涂层。仪器大多自身配备可充电电池，方便在工地，车间使用。探头种类很多，为了适用不同的工作环境和工件。仪器附带计算表格，可以根据您的涂层的厚度计算出施压大小，电压过高，会击穿涂层，电压过低，无法检测出针孔等缺陷的具体位置。使用该仪器探头一定不能接触人体，以免造成人员伤害。
