台阶仪

台阶仪是用来测量薄膜厚度的吧.高度重复性就是说其他条件相同时两次不同的测量下的结果差的很小. 重复性可以达到5埃就是说结果相差小于5埃.

台阶仪测量薄膜厚度的优点有1. 能够迅速测定薄膜的厚度及分布; 2. 可靠直观; 3. 具有相当的精度。 台阶仪测量薄膜厚度的缺点有 1. 有时候不能记录表面上比探针直径小的窄裂缝、凹陷; 2. 由于触针的尖端直径很小, 易将薄膜划伤、损坏。 使用范围 应用于较高硬度的薄膜。 面对柔软薄膜则必须采用较 轻质量、较大直径的触针,才能不使薄膜划伤和避免 因膜材粘附在触针尖上而形成误差。

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台阶仪是用来测量薄膜厚度的吧.高度重复性就是说其他条件相同时两次不同的测量下的结果差的很小. 重复性可以达到5埃就是说结果相差小于5埃.

不一样，扫描电镜是一种电真空装备，和电视成像有些类似。台阶仪器是一种机械装置，我的理解像是仿形加工设备。

日本小坂是日本唯一一家生产台阶仪厂家，具有欧美无法比拟的性价比。日本小坂公司成立于1950年创立，第一家发表光学杠杆表面粗糙度计，60年代就开发出圆度仪。一家具有悠久历史的与技术背景的厂商，主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为最具代表性单位且在精密测定界占有一席无法被取代的地位。随着中国市场的重要，小坂于2007年开始大力开拓国内市场。

正确名称应该是表面轮廓仪可以用探针把待测物体表面的相对高度给出来~~~由于常用于测量台阶——比如测量所镀膜的厚度那种，故也称为台阶仪！

首先，要注意台阶仪型号的选择。目前市面上的台阶仪型号种类繁多，有电感式、光电式、双模式等等，不同型号的台阶仪所适用的测量环境与测量对象有所不同。所以为了日后的使用，一定要在选购之前选择适合自己的正确型号。其次要注重您选购的台阶仪的产品质量。看一架台阶仪的质量，要从多方面考察，例如台阶仪是否具有完整的组成结构、测头是否有磨损、变形等问题。正是因为台阶仪的需求市场广泛，因此许多黑心的厂家大量的收购二手台阶仪，进行重新的加工和生产之后作为新品出售。而如果消费者没有察觉到而购买了测头磨损情况严重，结构不完整的台阶仪，不但浪费成本， 而且也不利益日后测量过程中数值结果的准确度。因此这一点要格外注意。最后，就是要注意您选购的厂家是否正规。正如上文中提到过，有些厂家出售的台阶仪质量不过关，或者在消费者不了解台阶仪市场价格的情况下随意加价，这些都为消费者带来困扰。因此在选择厂家之前，一定要考察这家厂家的资质如何，产品是否有国家产品质量认证等相关证明文件。

台阶仪测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好，此外它还可以作为其它形貌测量技术的比对。但是也有其难以克服的缺点：1由于测头与测件相接触造成的测头变形和磨损，使仪器在使用一段时间后测量精度下降；2测头为了保证耐磨性和刚性而不能做得非常细小尖锐，如果测头头部曲率半径大于被测表面上微观凹坑的半径必然造成该处测量数据的偏差；3为使测头不至于很快磨损，测头的硬度一般都很高，因此不适于精密零件及软质表面的测量。

台阶仪测量薄膜厚度的优缺点如下：1、台阶仪测量薄膜厚度的优点：能够迅速测定薄膜的厚度及分布，可靠直观，具有相当准确的精度。2、台阶仪测量薄膜厚度的缺点：不能记录表面上比探针直径小的窄裂缝、凹陷，由于触针的尖端直径很小，易将薄膜划伤、损坏。

难。测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好，但是操作过程复杂，需要选择好数据采集和分析过程。台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器，而且它也被人们叫做台阶测量仪等等。

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器 。根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。测量原理其测量原理是：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。主要种类电感式采用电感位移传感器作为敏感元件，测量精度高、信噪比高，但电路处理复杂；压电式的位移敏感元件为压电晶体，其灵敏度高、结构简单，但传感器低频响应不好、且容易漏电造成测量误差；光电式是利用光电元件接收透过狭缝的光通量变化来检测位移量的变化。