sih4
- 网络硅烷；甲硅烷；四氢化矽
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硅烷
甲硅烷
四氢化矽
沉积非晶矽薄膜所用特气，包括本徵用四氢化矽（SiH4）丶搀杂用PH3&TMB丶改良用CH4&H2及其它用Ar&N2。由於SiH4为 …
四氢化硅
沉积非晶硅薄膜所用特气，包括本征用四氢化硅（SiH4）丶搀杂用PH3&TMB丶改良用CH4&H2及其它用Ar&N2。由於SiH4为 …
电子级四氢化硅
电子级四氢化硅(SiH4)≥99.999% H2≤4000,N2≤5,CO2≤1.5,O2≤0.2,CO≤0.5,CH4≤20,Ar≤2 电子级三氢化砷(AsH3) ≥99.999% TH…
四氢化硅检测仪
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Table 6 indicates the magnitude of the flammability range of SiH4 and H2 blends of NF3, O2 and air, respectively.
表6说明了SiH4和H2分别在NF3、O2和空气中的混合物的可燃范围的大小。